Caractérisation électro-acoustique des couches Minces de ScxAl1-xN

L'étude des couches minces de ScxAl1-xN, considéré comme étant un matériau prometteur pour les dispositifs électroniques avancés, met en lumière l'amélioration des propriétés électro-acoustiques du Nitrure d’Aluminium (AlN) grâce au dopage en Scandium. Dans ce contexte, nous nous sommes intéressé à l’étude de l’effet de la variation du pourcentage de dopage de Scandium dans le matériau d’AlN sur la vitesse acoustique, vl, l’impédance acoustique, Zl, ainsi que la constante piézoélectrique, d33, par la suite nous avons étudié ce même effet de variation sur la fréquence de résonance, f_s, et d’antirésonance, f_p, d’un résonateur à ondes acoustiques de volume, BAW, et de ce fait; nous avons illustré l’impact de cette variation sur le coefficient du couplage électromagnétique, k_t^2, qui d’après nos simulations se trouves être proportionnel à l’élévation du taux de dopage de Sc dans la structure ScxAl1-xN.